在掃描電鏡中，正確聚焦是獲得清晰、可靠圖像的基礎操作，應按由粗到細的順序進行。

低倍粗調聚焦

先在低放大倍率下找到樣品區域。

調整 Z 軸或焦距旋鈕，使整體輪廓基本清晰。

逐步提高放大倍率

在保持圖像穩定的前提下，逐級放大。

每提高一次倍率，重新微調焦點。

使用細節區域對焦

選擇邊緣、顆粒或紋理明顯的區域作為參考。

細調焦距，使邊緣最銳利、對比度高。

配合消像散調整

若圖像在某一方向模糊，需配合像散校正。

焦距與像散通常需交替微調。

確認穩定性

停止操作后觀察數秒，確認圖像無明顯漂移或虛化。