掃描電鏡弱信號樣品的成像技巧
日期:2025-12-17
在掃描電鏡中,弱信號樣品常因二次電子產額低或噪聲占比高而成像困難,需要通過參數和操作配合來改善圖像質量。
降低加速電壓
低電壓可增強表面二次電子信號,提高對比度。
同時可減輕充電和束損傷。
優化工作距離
在合適范圍內適當縮短工作距離,有利于提高信號收集效率。
減慢掃描速度、增加積分
降低掃描速度或開啟幀平均,可提高信噪比。
選擇合適的探測器
優先使用二次電子探測器,弱信號時比背散射更敏感。
改善樣品導電性
對非導電樣品進行輕度噴鍍,可明顯提升信號穩定性。
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作者:澤攸科技
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