掃描電鏡中不同樣品亮度差異很大，通常不是設(shè)備問(wèn)題，而是樣品特性和成像條件共同決定的結(jié)果，主要原因集中在下面幾個(gè)方面。

主要的是材料本身差異。不同元素或成分對(duì)電子的相互作用能力不同，高原子序數(shù)材料產(chǎn)生的信號(hào)更強(qiáng)，在圖像中天然更亮；低原子序數(shù)材料信號(hào)弱，看起來(lái)就偏暗。這在背散射電子成像中尤為明顯。

表面形貌影響也很大。邊緣、尖角、凸起位置更容易產(chǎn)生二次電子，亮度自然更高；平坦或凹陷區(qū)域信號(hào)少，會(huì)顯得更暗。即使是同一種材料，形貌不同，亮度差異也可能非常明顯。

樣品導(dǎo)電性和接地狀態(tài)是常被忽略的原因。非導(dǎo)電或接地不良的樣品容易充電，局部電場(chǎng)會(huì)增強(qiáng)或抑制電子信號(hào)，造成亮度異常偏高或偏低，而且往往不穩(wěn)定。

加速電壓和束流設(shè)置不匹配也會(huì)放大差異。高加速電壓下，電子穿透更深，表面形貌對(duì)比減弱；低電壓時(shí)，表面敏感度增強(qiáng)，不同樣品之間的亮度差異會(huì)被進(jìn)一步放大。束流過(guò)大或過(guò)小，同樣會(huì)改變整體亮度水平。

探測(cè)器類型和位置也有影響。二次電子探測(cè)器更強(qiáng)調(diào)形貌和邊緣，對(duì)不同樣品的亮度響應(yīng)差異大；背散射探測(cè)器更強(qiáng)調(diào)成分，對(duì)原子序數(shù)差異非常敏感。同一參數(shù)下，不同探測(cè)模式亮度差別很正常。

此外，樣品表面狀態(tài)也很關(guān)鍵。污染層、氧化層、水汽或噴鍍層厚度不一致，都會(huì)改變電子發(fā)射效率，使不同樣品在同樣條件下亮度差異明顯。