掃描電鏡（SEM）探測(cè)器信號(hào)弱，是成像過(guò)程中常見(jiàn)的問(wèn)題之一。信號(hào)強(qiáng)度不足不僅會(huì)導(dǎo)致圖像亮度低、噪聲高，還可能掩蓋細(xì)節(jié)、降低分辨率。造成信號(hào)弱的原因通常涉及電子束參數(shù)、樣品特性、探測(cè)器狀態(tài)以及真空環(huán)境等多個(gè)方面。

一、電子束參數(shù)問(wèn)題

束流過(guò)小

若電子槍發(fā)射電流設(shè)置過(guò)低，照射到樣品的電子數(shù)量不足，產(chǎn)生的二次電子或背散射電子信號(hào)自然偏弱。

加速電壓過(guò)低

加速電壓低會(huì)降低電子的穿透深度和激發(fā)效率，尤其在背散射模式下，信號(hào)強(qiáng)度明顯減弱。

束斑偏離或未聚焦

聚焦不良、光軸偏移或孔徑污染會(huì)導(dǎo)致電子束能量密度下降，從而降低信號(hào)。

二、樣品相關(guān)因素

樣品導(dǎo)電性差

非導(dǎo)電樣品容易積累電荷，抑制二次電子逸出，導(dǎo)致圖像暗淡。

樣品表面吸附污染層

有機(jī)污染或氧化層會(huì)吸收部分電子信號(hào)，使探測(cè)到的信號(hào)減弱。

樣品角度不當(dāng)

若樣品與電子束的入射角不合理，部分二次電子被表面屏蔽或散射角度過(guò)大，不易被探測(cè)器收集。

三、探測(cè)器與電子光學(xué)系統(tǒng)

探測(cè)器老化或污染

二次電子探測(cè)器（如Everhart-Thornley探測(cè)器）的閃爍體或光電倍增管老化，會(huì)顯著降低增益。

電壓偏置異常

若探測(cè)器或收集柵偏壓電壓異常，電子收集效率會(huì)下降。

信號(hào)放大器或電纜故障

放大電路性能不穩(wěn)定或連接電纜松動(dòng)，也可能導(dǎo)致信號(hào)傳輸減弱。

四、真空環(huán)境與外部條件

真空度不足

殘余氣體增加會(huì)導(dǎo)致電子在傳播中散射衰減，降低信號(hào)到達(dá)探測(cè)器的數(shù)量。

樣品室污染

腔內(nèi)污染或油蒸氣沉積在探測(cè)器窗口上，會(huì)削弱入射電子信號(hào)。

環(huán)境電磁干擾

外部電源或設(shè)備噪聲可能影響信號(hào)放大過(guò)程，使輸出信號(hào)不穩(wěn)定、偏低。