掃描電鏡（SEM）能看到的最小結構，取決于它的分辨率，而分辨率又受電子槍類型、加速電壓、樣品制備和探測模式等因素影響。

一般來說：

傳統鎢燈絲熱發射 SEM：分辨率大約在 3–10 納米 左右，通常能清楚看到幾十納米大小的顆?；蛱卣鳌?/span>

場發射掃描電鏡（FE-SEM）：分辨率可達 1 納米甚至更好，能清楚觀察納米顆粒、薄膜表面、納米線等精細結構。

超高分辨 SEM（比如冷場發射 SEM）：在優化條件下，分辨率可以達到 亞納米級（0.5 nm 左右），接近透射電鏡（TEM）的效果。

需要注意的是，即使分辨率很高，是否能真正看清細節還取決于：

樣品表面的導電性與平整度；

是否存在充電效應或表面污染；

成像時的加速電壓與工作距離；

選擇的探測器（SE、BSE 等）。