在掃描電鏡（SEM）下，樣品充電（charging）主要發(fā)生在非導(dǎo)電或低導(dǎo)電材料表面，因?yàn)殡娮邮Z擊后產(chǎn)生的多余電荷無法及時(shí)泄放。為了防止充電，可以從樣品準(zhǔn)備和成像條件兩方面入手：

一、樣品制備階段

導(dǎo)電涂層處理

用離子濺射或蒸鍍方法在樣品表面鍍一層薄金屬（Au、Pt、Au/Pd）或碳層。

厚度一般 5–20 nm，既能導(dǎo)電又不會(huì)明顯掩蓋表面細(xì)節(jié)。

如果要做能譜（EDS）分析，建議選碳涂層，避免金屬峰干擾。

導(dǎo)電膠或銅膠帶接地

樣品與樣品臺(tái)之間涂導(dǎo)電銀膠、碳膠或貼導(dǎo)電膠帶，確保表面涂層與樣品臺(tái)電氣連接。

對(duì)于形狀不規(guī)則的樣品，可用膠帶局部包裹連接到臺(tái)面。

減少非導(dǎo)電裸露面

對(duì)于部分區(qū)域非導(dǎo)電的樣品，可選擇局部噴鍍，僅保留感興趣區(qū)域不涂層（但成像難度會(huì)增加）。

二、成像條件優(yōu)化

4. 降低加速電壓

將加速電壓調(diào)低到 1–5 kV，減少電子束穿透深度，降低電荷積累速度。

使用低真空或環(huán)境 SEM 模式

在腔體中引入少量氣體（如水蒸氣），利用氣體分子電離中和表面電荷，適合生物樣品、濕樣品和粉末。

降低束流強(qiáng)度

調(diào)低探針電流，減少單位時(shí)間電子注入量。

快速掃描 + 多幀累積

避免電子束長(zhǎng)時(shí)間停留在同一區(qū)域，用多幀疊加的方法提升信噪比而不增加充電風(fēng)險(xiǎn)。

三、操作細(xì)節(jié)

8. 逐步放大

先在低放大倍率下找到目標(biāo)區(qū)域，再逐步放大，減少在小區(qū)域的持續(xù)轟擊。

避免長(zhǎng)時(shí)間靜止束照射

暫停時(shí)應(yīng)先切換到低倍率或關(guān)閉束流，避免局部過度充電。