掃描電鏡（Scanning Electron Microscope, SEM）的信號采集類型通常包括以下幾種：

二次電子（SE）信號：這是SEM中常用的信號類型。當電子束掃描到樣品表面時，樣品表面的物質(zhì)會發(fā)射出二次電子，這些電子經(jīng)由檢測器采集并轉(zhuǎn)換成圖像，用于觀察樣品的形貌和表面特征。

反射電子（BE）信號：當電子束掃描到樣品表面時，部分電子會被樣品表面的物質(zhì)反射回來，形成反射電子信號。反射電子信號主要用于觀察樣品的組成和晶體結(jié)構(gòu)。

散射電子（BSE）信號：當電子束與樣品相互作用時，一部分電子會被樣品內(nèi)部物質(zhì)散射出來，形成散射電子信號。散射電子信號主要用于觀察樣品的組成和晶體結(jié)構(gòu)，具有較強的深度信息。

透射電子（TE）信號：在一些特定的SEM配置中，可以通過加入透射電子探測器，采集樣品內(nèi)部的透射電子信號，從而獲得樣品的透射電子顯微圖像，用于觀察樣品的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和組成。

需要注意的是，不同類型的信號在SEM中的采集方式和檢測器配置可能會有所不同，具體的信號采集方式和檢測器配置會根據(jù)SEM設(shè)備的型號、廠商以及研究目的而有所差異。

ZEM15臺式掃描電子顯微鏡

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